Fungsi carian sedang dalam pembinaan.
Fungsi carian sedang dalam pembinaan.

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. ex. Some numerals are expressed as "XNUMX".
Copyrights notice

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. Copyrights notice

A Complete Methodology for Electro-Mechanical Characterization of a CMOS Compatible MEMS Technology Metodologi Lengkap untuk Pencirian Elektro-Mekanikal bagi Teknologi MEMS Serasi CMOS

Laurent LATORRE, Pascal NOUET

  • pandangan teks lengkap

    0

  • Petikan Ini

Ringkasan:

Dalam makalah ini kami membentangkan metodologi lengkap untuk pencirian elektro-mekanikal yang cekap bagi teknologi MEMS yang serasi dengan CMOS. Menggunakan struktur ujian asal, yang dipanggil "rasuk julur bentuk-U," kami dapat menentukan semua ciri mekanikal penderia daya yang dibentuk dengan rasuk asas dalam teknologi tertentu. Satu set lengkap hubungan elektro-mekanikal untuk reka bentuk Microsystems juga telah dibangunkan.

Jawatankuasa
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E82-C No.4 pp.582-588
Tarikh penerbitan
1999/04/25
Diumumkan
ISSN dalam talian
DOI
Jenis Manuskrip
Special Section PAPER (Special Issue on Microelectronic Test Structures)
kategori

Pengarang

Kata kunci

Contents [show]