Fungsi carian sedang dalam pembinaan.
Fungsi carian sedang dalam pembinaan.

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. ex. Some numerals are expressed as "XNUMX".
Copyrights notice

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. Copyrights notice

Mechanical Stress Simulation for Highly Reliable Deep-Submicron Devices Simulasi Tekanan Mekanikal untuk Peranti Submikron Dalam Yang Sangat Boleh Dipercayai

Hideo MIURA, Shuji IKEDA

  • pandangan teks lengkap

    0

  • Petikan Ini

Ringkasan:

Kami telah meningkatkan kebolehpercayaan mekanikal peranti semikonduktor submikron dalam dengan menggunakan teknik simulasi. Jenis kerosakan biasa yang mengurangkan kebolehpercayaan ialah kehelan dalam substrat silikon, penembusan atau keretakan filem nipis, dan kemerosotan ciri elektronik peranti. Tegasan mekanikal yang berkembang dalam struktur peranti disebabkan oleh bukan sahaja ketidakpadanan dalam pekali pengembangan haba antara bahan filem nipis tetapi juga tegasan intrinsik filem nipis seperti poli-silikon dan silisid. Corak halus dengan goresan kering menjadikan tepi tajam dan ia juga menyebabkan kepekatan tekanan dan dengan itu tekanan tinggi. Proses pembuatan di mana tekanan berkembang terutamanya adalah pengasingan, pembentukan pintu, dan pembentukan saling. Kami telah membangunkan kaedah untuk mengurangkan tekanan dalam setiap proses yang disebutkan di atas. Pengurangan tekanan ini sangat berkesan untuk pembuatan yang sangat boleh dipercayai. Akhir sekali, kami menjelaskan kesan tegasan baki dalam struktur transistor pada peralihan ciri elektronik transistor MOS.

Jawatankuasa
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E82-C No.6 pp.830-838
Tarikh penerbitan
1999/06/25
Diumumkan
ISSN dalam talian
DOI
Jenis Manuskrip
Special Section INVITED PAPER (Special Issue on TCAD for Semiconductor Industries)
kategori

Pengarang

Kata kunci

Contents [show]