Fungsi carian sedang dalam pembinaan.
Fungsi carian sedang dalam pembinaan.

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. ex. Some numerals are expressed as "XNUMX".
Copyrights notice

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. Copyrights notice

Design and Development of 3-Dimensional Process Simulator Reka Bentuk dan Pembangunan Simulator Proses 3 Dimensi

Tetsunori WADA, Norihiko KOTANI

  • pandangan teks lengkap

    0

  • Petikan Ini

Ringkasan:

Konsep reka bentuk dan latar belakang simulator proses semikonduktor 3 dimensi dibentangkan. Ia direka bentuk untuk menjadi asas pembangunan model proses semikonduktor. Bahasa input direka bentuk untuk merealisasikan jujukan simulasi kawalan secara fleksibel, dan program penterjemahnya direka bentuk untuk menerima perisian luaran untuk dikawal dan disepadukan ke dalam sistem. Untuk merealisasikan pertukaran data antara simulator proses dan perisian lain, format fail data yang menerangkan sendiri direka bentuk dan perpustakaan program yang berkaitan dibangunkan. Kelas C++ untuk menyelesaikan persamaan pembezaan separa jenis drift-difusi dalam ruang tiga dimensi dibangunkan.

Jawatankuasa
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E82-C No.6 pp.839-847
Tarikh penerbitan
1999/06/25
Diumumkan
ISSN dalam talian
DOI
Jenis Manuskrip
Special Section INVITED PAPER (Special Issue on TCAD for Semiconductor Industries)
kategori

Pengarang

Kata kunci

Contents [show]