Fungsi carian sedang dalam pembinaan.
Fungsi carian sedang dalam pembinaan.

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. ex. Some numerals are expressed as "XNUMX".
Copyrights notice

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. Copyrights notice

Equipment Simulation of Production Reactors for Silicon Device Fabrication Simulasi Peralatan Reaktor Pengeluaran untuk Fabrikasi Peranti Silikon

Christoph WERNER

  • pandangan teks lengkap

    0

  • Petikan Ini

Ringkasan:

Simulasi peralatan boleh memberikan sokongan berharga dalam reka bentuk reaktor dan pengoptimuman proses. Artikel ini menerangkan model fizikal dan kimia yang digunakan dalam teknik ini dan keadaan seni semasa alat perisian yang tersedia disemak. Selain itu, potensi simulasi peralatan akan diserlahkan melalui tiga contoh terkini daripada pembangunan proses silikon suku mikron lanjutan. Ini termasuk reaktor kelompok menegak untuk LPCVD silikon oksida terdop arsenik, reaktor CVD tungsten berbilang stesen dan reaktor plasma untuk etsa silikon.

Jawatankuasa
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E82-C No.6 pp.992-996
Tarikh penerbitan
1999/06/25
Diumumkan
ISSN dalam talian
DOI
Jenis Manuskrip
Special Section INVITED PAPER (Special Issue on TCAD for Semiconductor Industries)
kategori

Pengarang

Kata kunci

Contents [show]