Fungsi carian sedang dalam pembinaan.
Fungsi carian sedang dalam pembinaan.

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. ex. Some numerals are expressed as "XNUMX".
Copyrights notice

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. Copyrights notice

Fiber-Optic Sensors and Actuators for Environmental Recognition Devices Penderia Gentian Optik dan Penggerak untuk Peranti Pengecaman Alam Sekitar

Osamu TOHYAMA, Shigeo MAEDA, Kazuhiro ABE, Manabu MURAYAMA

  • pandangan teks lengkap

    0

  • Petikan Ini

Ringkasan:

Apabila mesin mikro berfungsi di dalam ruang sempit di dalam tiub dan peralatan seperti kilang mikro, peranti mikro yang mempunyai fungsi visual amat diperlukan. Untuk memantau bentuk kecil proses mikrofabrikasi dan pemasangan mikro yang mustahil untuk diperhatikan, sensor gentian optik dan penggerak untuk peranti pengecaman alam sekitar telah dibangunkan. Peranti direka untuk membolehkan pemerhatian stereoskopik dan mikroskopik dan untuk mengukur dimensi bahagian mikro. Untuk mencapai matlamat ini dan untuk merealisasikan struktur dan fungsi kecil, kami membangunkan peranti pengecaman alam sekitar untuk proses mikrofabrikasi dengan fungsi pemerhatian medan jauh dan dekat, penderiaan sentuhan dan artikulasi hujung, untuk proses pemasangan mikro dengan fungsi pemerhatian stereoskopik dan artikulasi hujung. Keputusan menunjukkan bahawa pengiktirafan alam sekitar yang mudah dan selamat adalah mungkin dalam ruang sempit sebuah kilang mikro.

Jawatankuasa
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E83-C No.3 pp.475-480
Tarikh penerbitan
2000/03/25
Diumumkan
ISSN dalam talian
DOI
Jenis Manuskrip
Special Section PAPER (Special Issue on Optical Fiber Sensors)
kategori
Aplikasi Sistem dan Ujian Lapangan

Pengarang

Kata kunci

Contents [show]