Fungsi carian sedang dalam pembinaan.
Fungsi carian sedang dalam pembinaan.

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. ex. Some numerals are expressed as "XNUMX".
Copyrights notice

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. Copyrights notice

Micromechanical Photonic Integrated Circuits Litar Bersepadu Fotonik Mikromekanikal

Ming C. WU, Li FAN, Guo-Dong SU

  • pandangan teks lengkap

    0

  • Petikan Ini

Ringkasan:

Kami melaporkan tentang litar bersepadu fotonik mikromekanikal (PIC) baru untuk menyepadukan sistem optik ruang bebas pada cip. Menggunakan teknik penggilap permukaan polysilicon, elemen mikro-optik, struktur optomekanikal tiga dimensi, dan mikroaktuator disepadukan secara monolitik pada substrat silikon. Kami akan membincangkan blok binaan asas PIC mikromekanikal, termasuk pemposisi mikro XYZ, cermin mikro senget 2 paksi, kanta mikro pengimbasan, dan penyepaduan mereka dengan laser pemancar permukaan rongga menegak. Kami juga akan membincangkan aplikasi mereka dalam sambung optik boleh konfigurasi semula dan penjajaran aktif dalam sistem sambung optik ruang bebas selari.

Jawatankuasa
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E83-C No.6 pp.903-911
Tarikh penerbitan
2000/06/25
Diumumkan
ISSN dalam talian
DOI
Jenis Manuskrip
Special Section INVITED PAPER (Special Issue on Advanced Optical Devices for Next Generation High-Speed Communication Systems and Photonic Networks)
kategori
Suis dan Peranti Novel

Pengarang

Kata kunci

Contents [show]