Fungsi carian sedang dalam pembinaan.
Fungsi carian sedang dalam pembinaan.

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. ex. Some numerals are expressed as "XNUMX".
Copyrights notice

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. Copyrights notice

Fabrication of Coplanar Microstructures Composed of Multiple Organosilane Self-Assembled Monolayers Pembuatan Struktur Mikro Coplanar Terdiri daripada Berbilang Organosilane Monolayer Dipasang Sendiri

Hiroyuki SUGIMURA, Atsushi HOZUMI, Osamu TAKAI

  • pandangan teks lengkap

    0

  • Petikan Ini

Ringkasan:

Micropatterning monolayers dipasang sendiri organosilane (SAM) telah ditunjukkan berdasarkan fotolitografi menggunakan lampu excimer yang memancarkan cahaya vakum ultra-ungu (VUV) 172 nm dalam panjang gelombang. Litografi ini secara amnya boleh digunakan untuk corak mikro filem nipis organik termasuk alkil dan fluoroalkil SAM, kerana mekanisme coraknya melibatkan pembelahan ikatan CC dalam molekul organik dan penguraian molekul berikutnya. Dalam kajian ini, SAM telah disediakan pada substrat Si yang ditutup dengan oksida asli melalui pemendapan wap kimia di mana alkilsilane, iaitu, octadecyltrimethoxysilane [CH3(CH2)17Si(OCH3)3, ODS] atau fluoroalkylsilane, iaitu, 1H, 1H, 2H, 2H-perfluorodecyltrimethoxy-silane [CF3(CF2)7CH2CH2Si(OCH3)3, FAS] telah digunakan sebagai prekursor. Setiap SAM ini disinarikan foto melalui topeng foto yang diletakkan di permukaannya. Seperti yang disahkan oleh mikroskopi daya atom dan spektroskopi fotoelektron sinar-x, SAM telah terurai dan dikeluarkan di kawasan sinaran foto manakala kawasan bertopeng kekal tidak terurai. Satu mikrocorak lebar 2 µm telah berjaya dibuat. Tambahan pula, struktur mikro yang terdiri daripada dua SAM berbeza, iaitu, ODS dan FAS, telah direka seperti berikut. Sebagai contoh, ODS-SAM pertama kali dicorakkan oleh VUV-litografi. Oleh kerana, kawasan terdedah VUV pada ODS-SAM menunjukkan pertalian kepada kemisorpsi molekul organosilane, SAM kedua, iaitu FAS, terhad kepada corak yang ditakrifkan secara fotolitografi telah berjaya dibuat. Disebabkan oleh negatif elektron atom F, kawasan yang dilindungi FAS menunjukkan potensi permukaan yang lebih negatif daripada permukaan ODS: perbezaan potensinya adalah ca. 120 mV seperti yang diperhatikan oleh mikroskop daya kuar Kelvin.

Jawatankuasa
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E83-C No.7 pp.1099-1103
Tarikh penerbitan
2000/07/25
Diumumkan
ISSN dalam talian
DOI
Jenis Manuskrip
Special Section PAPER (Special Issue on Organic Molecular Electronics for the 21st Century)
kategori
Filem Ultra Nipis

Pengarang

Kata kunci

Contents [show]