Fungsi carian sedang dalam pembinaan.
Fungsi carian sedang dalam pembinaan.

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. ex. Some numerals are expressed as "XNUMX".
Copyrights notice

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. Copyrights notice

A Computationally Efficient Method for Three-Dimensional Simulation of Ion Implantation Kaedah Cekap Secara Pengiraan untuk Simulasi Tiga Dimensi Implantasi Ion

Alexander BURENKOV, Klaus TIETZEL, Andreas HOSSINGER, Jurgen LORENZ, Heiner RYSSEL, Siegfried SELBERHERR

  • pandangan teks lengkap

    0

  • Petikan Ini

Ringkasan:

Ketepatan tinggi yang diperlukan untuk simulasi proses moden selalunya memerlukan penggunaan kaedah simulasi implantasi ion Monte-Carlo dengan kelemahan masa simulasi yang sangat lama terutamanya untuk aplikasi tiga dimensi. Dalam kerja ini kaedah baharu untuk simulasi tiga dimensi implantasi ion yang tepat dan cekap masa CPU dicadangkan. Pendekatan ini adalah berdasarkan gabungan keupayaan algoritma analitikal pantas dan kaedah simulasi Monte-Carlo.

Jawatankuasa
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E83-C No.8 pp.1259-1266
Tarikh penerbitan
2000/08/25
Diumumkan
ISSN dalam talian
DOI
Jenis Manuskrip
Special Section PAPER (Special Issue on 1999 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD'99))
kategori
Permodelan dan Simulasi Proses

Pengarang

Kata kunci

Contents [show]