Fungsi carian sedang dalam pembinaan.
Fungsi carian sedang dalam pembinaan.

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. ex. Some numerals are expressed as "XNUMX".
Copyrights notice

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. Copyrights notice

Optical MEMS MEMS optikal

Hiroyuki FUJITA, Hiroshi TOSHIYOSHI

  • pandangan teks lengkap

    0

  • Petikan Ini

Ringkasan:

Baru-baru ini aplikasi MEMS (sistem mekanikal elektro mikro) telah mencapai kemajuan yang luar biasa dalam banyak fail. Aplikasi optik MEMS adalah salah satu yang paling menjanjikan kerana ia menyediakan peranti optik mikro mekano, komponen utama untuk sistem berprestasi tinggi dalam rangkaian komunikasi optik dan peranti storan data. Makalah ini mengimbas kesan teknologi MEMS pada sistem optik. Tambahan pula, contoh tercanggih bagi suis optik mikro, penapis boleh tala ekor babi dan pengimbas optik MEMS dua dimensi diterangkan.

Jawatankuasa
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E83-C No.9 pp.1427-1434
Tarikh penerbitan
2000/09/25
Diumumkan
ISSN dalam talian
DOI
Jenis Manuskrip
Special Section INVITED PAPER (Special Issue on Current Electromechanical Devices and Their Materials with Recent Innovations)
kategori

Pengarang

Kata kunci

Contents [show]