Fungsi carian sedang dalam pembinaan.
Fungsi carian sedang dalam pembinaan.

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. ex. Some numerals are expressed as "XNUMX".
Copyrights notice

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. Copyrights notice

Chemical Stability of SrBi2Ta2O9 Thin Films Prepared by Metalorganic Chemical Vapor Deposition Kestabilan Kimia SrBi2Ta2O9 Filem Nipis Disediakan oleh Pemendapan Wap Kimia Metalorganik

Norimasa NUKAGA, Masatoshi MITSUYA, Hiroshi FUNAKUBO

  • pandangan teks lengkap

    0

  • Petikan Ini

Ringkasan:

Kestabilan kimia unsur-unsur konstituen dalam filem nipis polihabluran Sr-Bi-Ta-O dengan pelbagai kandungan Bi yang disediakan oleh pemendapan wap kimia metalorganik (MOCVD) telah disiasat oleh spektroskopi fotoelektron sinar-X (XPS). Selain itu, filem epitaxial juga telah disiasat untuk menganggarkan kesan sempadan butiran dalam filem polihablur. Oleh itu, hanya unsur Bi yang berubah secara drastik daripada Bi3+ negeri kepada Bi0 satu oleh Ar terpercik. Perubahan ini meningkat dengan meningkatkan nisbah mol Ta/Bi dalam filem daripada 0.64 kepada 1.67. Keputusan ini diperhatikan bukan sahaja untuk filem polihabluran tetapi juga untuk filem epitaxial, menunjukkan bahawa ini adalah watak butiran bukan sempadan butiran. Kestabilan dan watak kebocoran filem sangat bergantung pada konstituen filem itu.

Jawatankuasa
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E84-C No.6 pp.791-795
Tarikh penerbitan
2001/06/01
Diumumkan
ISSN dalam talian
DOI
Jenis Manuskrip
Special Section PAPER (Special Issue on Nonvolatile Memories)
kategori
FeRAM

Pengarang

Kata kunci

Contents [show]