Fungsi carian sedang dalam pembinaan.
Fungsi carian sedang dalam pembinaan.

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. ex. Some numerals are expressed as "XNUMX".
Copyrights notice

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. Copyrights notice

NDE of Semiconductor Samples and Photovoltaic Devices with High Spatial Resolution Utilizing SQUID Photoscanning NDE Sampel Semikonduktor dan Peranti Photovoltaic dengan Resolusi Spatial Tinggi Menggunakan Pengimbasan Foto SQUID

Thomas SCHURIG, Jorn BEYER, Dietmar DRUNG, Frank LUDWIG, Anke LUDGE, Helge RIEMANN

  • pandangan teks lengkap

    0

  • Petikan Ini

Ringkasan:

SQUID (Superconducting Quantum Interference Device) Pengimbasan foto ialah teknik analitik yang bertujuan untuk penilaian bukan invasif wafer semikonduktor dan struktur peranti. Kaedah ini adalah berdasarkan pengesanan medan magnet arus foto yang teraruh tempatan dalam sampel yang disiasat oleh pancaran laser terfokus. Medan magnet dipantau menggunakan magnetometer SQUID yang sensitif semasa mengimbas permukaan sampel dengan pancaran laser. Ketidakhomogenan doping dalam silikon gred elektronik, sempadan butiran dalam silikon suria, dan kecacatan dalam struktur peranti fotovoltaik telah dianalisis.

Jawatankuasa
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E85-C No.3 pp.665-669
Tarikh penerbitan
2002/03/01
Diumumkan
ISSN dalam talian
DOI
Jenis Manuskrip
Special Section INVITED PAPER (Special Issue on Superconductive Electronics)
kategori
SOTONG dan Aplikasinya

Pengarang

Kata kunci

Contents [show]