Fungsi carian sedang dalam pembinaan.
Fungsi carian sedang dalam pembinaan.

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. ex. Some numerals are expressed as "XNUMX".
Copyrights notice

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. Copyrights notice

CMOS Transistor in Nanoscale Era Transistor CMOS dalam Era Skala Nano

Bin YU

  • pandangan teks lengkap

    0

  • Petikan Ini

Ringkasan:

Kertas kerja ini menangani cabaran asas dan penyelesaian yang mungkin dalam mereka bentuk dan membuat transistor CMOS skala nanometer. Komponen teknologi penting seperti dielektrik get termaju, simpang ultra cetek, kejuruteraan profil dopan saluran dan salisida dibincangkan. Transistor berskala ultra dengan panjang get fizikal hingga 15 nm ditunjukkan sebagai usaha berterusan untuk menolak teknologi CMOS planar tradisional ke arah had fizikalnya.

Jawatankuasa
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E85-C No.5 pp.1052-1056
Tarikh penerbitan
2002/05/01
Diumumkan
ISSN dalam talian
DOI
Jenis Manuskrip
Special Section INVITED PAPER (Special Issue on Advanced Sub-0.1 µm CMOS Devices)
kategori

Pengarang

Kata kunci

Contents [show]