Fungsi carian sedang dalam pembinaan.
Fungsi carian sedang dalam pembinaan.

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. ex. Some numerals are expressed as "XNUMX".
Copyrights notice

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. Copyrights notice

Kr-Plasma Sputtering for Pt Gate Electrode Deposition on MFSFET with 5 nm-Thick Ferroelectric Nondoped HfO2 Gate Insulator for Analog Memory Application Sputtering Kr-Plasma untuk Pemendapan Elektrod Gerbang Pt pada MFSFET dengan HfO Nondoped Ferroelektrik Tebal 5 nm2 Penebat Gerbang untuk Aplikasi Memori Analog

Joong-Won SHIN, Masakazu TANUMA, Shun-ichiro OHMI

  • pandangan teks lengkap

    3

  • Petikan Ini

Ringkasan:

Dalam penyelidikan ini, kami menyiasat voltan ambang (VTH) kawalan melalui polarisasi separa transistor kesan medan-ferroelektrik-semikonduktor logam (MFSFET) dengan HfO tak berdop setebal 5 nm2 penebat pintu menggunakan percikan Kr-plasma untuk pemendapan elektrod pintu Pt. Polarisasi sisa (2Pr) sebanyak 7.2 μC/cm2 telah direalisasikan oleh Kr-plasma sputtering untuk pemendapan elektrod pintu Pt. Tetingkap ingatan (MW) 0.58 V direalisasikan oleh amplitud nadi dan lebar -5/5 V, 100 ms. Tambahan pula, VTH MFSFET boleh dikawal oleh nadi input program/padam (P/E) walaupun dengan lebar nadi di bawah 100 ns yang mungkin disebabkan oleh pengurangan arus bocor dengan kerosakan plasma yang berkurangan.

Jawatankuasa
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E106-C No.10 pp.581-587
Tarikh penerbitan
2023/10/01
Diumumkan
2023/06/02
ISSN dalam talian
1745-1353
DOI
10.1587/transele.2022FUP0003
Jenis Manuskrip
Special Section PAPER (Special Section on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices)
kategori

Pengarang

Joong-Won SHIN
  Tokyo Institute of Technology
Masakazu TANUMA
  Tokyo Institute of Technology
Shun-ichiro OHMI
  Tokyo Institute of Technology

Kata kunci

Contents [show]