Fungsi carian sedang dalam pembinaan.
Fungsi carian sedang dalam pembinaan.

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. ex. Some numerals are expressed as "XNUMX".
Copyrights notice

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. Copyrights notice

Open Access
New Approach of Laser-SQUID Microscopy to LSI Failure Analysis
Membuka akses
Pendekatan Baru Laser-SQUID Microscopy kepada Analisis Kegagalan LSI

Kiyoshi NIKAWA, Shouji INOUE, Tatsuoki NAGAISHI, Toru MATSUMOTO, Katsuyoshi MIURA, Koji NAKAMAE

  • pandangan teks lengkap

    75

  • Petikan Ini
  • Free PDF (1.5MB)

Ringkasan:

Kami telah mencadangkan dan berjaya menunjukkan kaedah dua langkah untuk menyetempatkan kecacatan pada cip LSI. Langkah pertama adalah sama seperti pengimejan laser-SQUID (L-SQUID) konvensional di mana SQUID dan pancaran laser ditetapkan semasa pengimbasan cip LSI. Langkah kedua ialah pengimejan L-SQUID baharu di mana pancaran laser dikekalkan pada titik, terletak dalam keputusan langkah pertama, semasa pengimbasan SQUID. Dalam langkah kedua, saiz SQUID (Aeff) dan jarak antara SQUID dan cip LSI (ΔZ) adalah faktor utama yang mengehadkan resolusi spatial. Untuk menambah baik resolusi spatial, kami telah membangunkan mikro-SQUID dan ruang vakum yang menempatkan kedua-dua mikro-SQUID dan cip LSI. The Aeff daripada mikro-SOtong adalah seribu daripada sotong konvensional. Nilai minimum ΔZ telah berjaya dikurangkan kepada 25 µm dengan menetapkan kedua-dua mikro-SQUID dan cip LSI dalam kebuk vakum yang sama. Resolusi spatial dalam langkah kedua ditunjukkan sebagai 53 µm. Demonstrasi penyetempatan kecacatan rumit sebenar telah berjaya, dan keputusan ini menunjukkan bahawa kaedah penyetempatan dua langkah berguna untuk analisis kegagalan LSI.

Jawatankuasa
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E92-C No.3 pp.327-333
Tarikh penerbitan
2009/03/01
Diumumkan
ISSN dalam talian
1745-1353
DOI
10.1587/transele.E92.C.327
Jenis Manuskrip
Special Section INVITED PAPER (Special Section on Recent Progress in Superconducting Analog Devices and Their Applications)
kategori

Pengarang

Kata kunci

Contents [show]