Fungsi carian sedang dalam pembinaan.
Fungsi carian sedang dalam pembinaan.

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. ex. Some numerals are expressed as "XNUMX".
Copyrights notice

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. Copyrights notice

Micromachined RF Devices for Concurrent Integration on Dielectric-Air-Metal Structures Peranti RF Micromachined untuk Integrasi Serentak pada Struktur Dielektrik-Udara-Logam

Tamotsu NISHINO, Masatake HANGAI, Yukihisa YOSHIDA, Sang-Seok LEE

  • pandangan teks lengkap

    0

  • Petikan Ini

Ringkasan:

Kertas kerja ini mencadangkan konsep konfigurasi serentak peranti mikromesin frekuensi radio (RF) dan sistem mikro-elektro-mekanikal (MEMS). Peranti ini direka pada struktur dielektrik-udara-logam (DAM) yang asalnya dibangunkan yang sesuai untuk fabrikasi pelbagai peranti bersama-sama. Struktur DAM boleh mencadangkan elemen berongga yang disokong membran yang tertanam dalam wafer silikon dengan mencipta rongga di dalamnya. Walaupun peranti mempunyai kedalaman rongga yang berbeza, ia diproses dengan hanya satu pelanarisasi. Di samping itu, oleh kerana struktur hanya berfungsi dari bahagian hadapan wafer, tiada proses membalik serta tiada proses ikatan wafer diperlukan, dan hakikatnya merealisasikan penyepaduan serentak kos rendah. Sebagai aplikasi struktur DAM, pandu gelombang co-planar yang dibumikan berongga, litar elemen tergumpal dan suis MEMS ditunjukkan.

Jawatankuasa
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E93-C No.7 pp.1111-1118
Tarikh penerbitan
2010/07/01
Diumumkan
ISSN dalam talian
1745-1353
DOI
10.1587/transele.E93.C.1111
Jenis Manuskrip
Special Section PAPER (Special Section on Recent Progress in Microwave and Millimeter-Wave Technologies)
kategori

Pengarang

Kata kunci

Contents [show]