Fungsi carian sedang dalam pembinaan.
Fungsi carian sedang dalam pembinaan.

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. ex. Some numerals are expressed as "XNUMX".
Copyrights notice

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. Copyrights notice

Exhaustive and Systematic Accuracy Verification and Enhancement of STI Stress Compact Model for General Realistic Layout Patterns Pengesahan dan Peningkatan Ketepatan Lengkap dan Sistematik Model Padat Tekanan STI untuk Corak Reka Letak Realistik Umum

Kenta YAMADA, Toshiyuki SYO, Hisao YOSHIMURA, Masaru ITO, Tatsuya KUNIKIYO, Toshiki KANAMOTO, Shigetaka KUMASHIRO

  • pandangan teks lengkap

    0

  • Petikan Ini

Ringkasan:

Model padat sedar reka letak yang dicadangkan setakat ini telah disahkan secara amnya hanya untuk corak ujian mudah. Walau bagaimanapun, reka bentuk sebenar menggunakan corak susun atur yang lebih rumit. Oleh itu, model mesti disahkan untuk corak sedemikian untuk mewujudkan kepraktisan mereka. Kertas kerja ini mencadangkan metodologi dan corak ujian untuk mengesahkan model kompak yang sedar susun atur secara menyeluruh dan sistematik untuk corak susun atur umum buat kali pertama. Metodologi dan corak ujian ditunjukkan secara konkrit melalui pengesahan model padat tegasan pengasingan parit cetek (STI) yang dicadangkan dalam [1]. Mula-mula, parameter model untuk teknologi CMOS 55-nm diekstrak, dan kemudian model itu disahkan dan diwujudkan agar tepat untuk corak asas yang digunakan untuk pengekstrakan parameter. Seterusnya, idea asas operasi model untuk corak susun atur umum disahkan menggunakan pelbagai corak pengesahan. Ujian ini mendedahkan bahawa model itu agak lemah dalam beberapa kes tidak termasuk dalam corak asas. Akhirnya, ralat untuk kes ini dihapuskan dengan meningkatkan algoritma. Akibatnya, model itu disahkan mempunyai keluasan yang tinggi. Metodologi ini akan berkesan untuk mengesahkan model padat yang menyedari reka letak lain untuk corak susun atur umum.

Jawatankuasa
IEICE TRANSACTIONS on Electronics Vol.E93-C No.8 pp.1349-1358
Tarikh penerbitan
2010/08/01
Diumumkan
ISSN dalam talian
1745-1353
DOI
10.1587/transele.E93.C.1349
Jenis Manuskrip
PAPER
kategori
Bahan dan Peranti Semikonduktor

Pengarang

Kata kunci

Contents [show]