Fungsi carian sedang dalam pembinaan.
Fungsi carian sedang dalam pembinaan.

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. ex. Some numerals are expressed as "XNUMX".
Copyrights notice

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. Copyrights notice

Character Projection Mask Set Optimization for Enhancing Throughput of MCC Projection Systems Pengoptimuman Set Topeng Unjuran Karakter untuk Meningkatkan Daya Tampung Sistem Unjuran MCC

Makoto SUGIHARA, Yusuke MATSUNAGA, Kazuaki MURAKAMI

  • pandangan teks lengkap

    0

  • Petikan Ini

Ringkasan:

Litografi unjuran aksara (CP) digunakan untuk litografi tanpa topeng dan berpotensi untuk pembuatan topeng foto masa hadapan kerana ia boleh menayangkan IC dengan lebih pantas daripada unjuran rasuk titik atau unjuran rasuk berbentuk berubah-ubah (VSB). Dalam makalah ini, kami mula-mula membentangkan metodologi pembangunan set topeng unjuran untuk sistem sel berbilang lajur (MCC), di mana sel lajur boleh menayangkan corak selari dengan litografi CP dan VSB. Seterusnya, kami mempersembahkan model INLP (integer nonlinear programming) serta model ILP (integer linear programming) untuk mengoptimumkan set topeng CP bagi sistem unjuran MCC supaya masa unjuran dikurangkan. Keputusan percubaan menunjukkan bahawa pengoptimuman kami telah mencapai 33.4% kurang masa unjuran dalam kes terbaik daripada pendekatan pembangunan topeng CP naif. Keputusan eksperimen menunjukkan bahawa kaedah pengoptimuman set topeng CP kami telah meningkatkan objek corak sel secara hampir pada topeng CP dan telah mengurangkan unjuran VSB supaya ia telah mencapai daya tampung unjuran yang lebih tinggi daripada hanya menyelaraskan dua sel lajur dengan topeng CP konvensional.

Jawatankuasa
IEICE TRANSACTIONS on Fundamentals Vol.E91-A No.12 pp.3451-3460
Tarikh penerbitan
2008/12/01
Diumumkan
ISSN dalam talian
1745-1337
DOI
10.1093/ietfec/e91-a.12.3451
Jenis Manuskrip
Special Section PAPER (Special Section on VLSI Design and CAD Algorithms)
kategori
Reka Bentuk Tahap Fizikal

Pengarang

Kata kunci

Contents [show]