Fungsi carian sedang dalam pembinaan.
Fungsi carian sedang dalam pembinaan.

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. ex. Some numerals are expressed as "XNUMX".
Copyrights notice

The original paper is in English. Non-English content has been machine-translated and may contain typographical errors or mistranslations. Copyrights notice

Accurate Systematic Hot-Spot Scoring Method and Score-Based Fixing Guidance Generation Kaedah Pemarkahan Hot-Spot Sistematik yang Tepat dan Penjanaan Bimbingan Pembetulan Berasaskan Skor

Yonghee PARK, Junghoe CHOI, Jisuk HONG, Sanghoon LEE, Moonhyun YOO, Jundong CHO

  • pandangan teks lengkap

    0

  • Petikan Ini

Ringkasan:

Penyelidikan mengenai meramal dan mengalihkan titik panas litografi telah berleluasa dalam industri semikonduktor baru-baru ini, dan dikenali sebagai salah satu cabaran paling sukar untuk mencapai liputan pengesanan berkualiti tinggi. Untuk menyediakan pelaksanaan reka bentuk fizikal dengan nikmat pereka dalam menetapkan titik panas, dalam kertas kerja ini, kami membentangkan kaedah pengesanan titik panas yang mulia dan tepat, yang dipanggil "merata dan pemarkahan" algoritma berdasarkan gabungan wajaran parameter kualiti imej (iaitu, cerun log imej ternormal (NILS), faktor peningkatan ralat topeng (MEEF), dan kedalaman fokus (DOF)) daripada simulasi litografi. Dalam algoritma kami, pertama, panas- fungsi pemarkahan tempat mengambil kira tahap keterukan ditentukur dengan kelayakan tetingkap proses, dan kemudian kaedah regresi kuasa dua terkecil digunakan untuk menentukur pekali pemberat bagi setiap parameter kualiti imej Dengan cara ini, selepas kami memperoleh fungsi pemarkahan dengan hasil wafer, kaedah kami boleh digunakan pada reka bentuk masa hadapan menggunakan proses yang sama Dengan menggunakan fungsi pemarkahan yang ditentukur ini, kami berjaya menjana panduan dan peraturan penetapan untuk mengesan kawasan titik panas dengan mencari nilai bias tepi yang membawa kepada tahap skor bebas titik panas menyepadukan maklumat panduan penetapan titik panas ke dalam penyunting reka letak untuk memudahkan persekitaran reka bentuk yang menguntungkan pengguna Dengan menggunakan kaedah kami pada peranti memori 60 nm nod dan ke bawah, kami boleh berjaya mencapai margin tetingkap proses yang mencukupi untuk menghasilkan pengeluaran besar-besaran.

Jawatankuasa
IEICE TRANSACTIONS on Fundamentals Vol.E92-A No.12 pp.3082-3085
Tarikh penerbitan
2009/12/01
Diumumkan
ISSN dalam talian
1745-1337
DOI
10.1587/transfun.E92.A.3082
Jenis Manuskrip
Special Section LETTER (Special Section on VLSI Design and CAD Algorithms)
kategori
Pemodelan dan Analisis Peranti dan Litar

Pengarang

Kata kunci

Contents [show]